Titanijumski rotirajući cilindar Meta

To je komponenta koja se koristi u procesima fizičkog taloženja parom (PVD), što je metoda za nanošenje tankih filmova materijala na podlogu. Titanijumska cijevna meta je napravljena od čistog titanijuma i oblikovana je kao cilindar koji se rotira tokom PVD procesa.

PVD proces funkcionira korištenjem električnog luka ili magnetronskog raspršivanja kako bi se ispario ciljni materijal, u ovom slučaju titanij, i nanio ga u obliku tankog filma na podlogu. Rotirajući cilindarski cilj omogućava ravnomjernije nanošenje titanijumskog filma na podlogu.

Prednosti upotrebe u PVD procesima uključuju visoku čistoću nanesenog filma, visoku stopu taloženja i poboljšanu adheziju filma. Titanijumske rotacione mete za magnetronsko raspršivanje napravljene su od visokokvalitetnog titanijumskog materijala i dizajnirane su da izdrže visoke temperature i mehanička naprezanja tokom PVD procesa.

Specifikacija Uvod

Tip normalne veličine:

Naša prednost

Titanijumske mete koje isporučujemo imaju mala zrna, ujednačenu distribuciju, visoku čistoću, malo inkluzija i visoku čistoću. Naneseni TiN film se koristi u dekoraciji, alatnoj, poluprovodničkoj i drugim poljima, sa dobrim prianjanjem, ujednačenim premazom i jarkim bojama.

--Čistoća

Za proizvodnju kvalifikovane mete za raspršivanje titanijuma, čistoća je jedan od važnih pokazatelja performansi. Čistoća titanijumske mete ima veliki uticaj na performanse premaza za raspršivanje. Što je veća čistoća titanijumske mete, manje je čestica elementa nečistoće u raspršenom titanijumskom filmu, što rezultira boljim performansama PVD premaza, uključujući bolju otpornost na koroziju i električna i optička svojstva. Međutim, u praktičnim primjenama, titanijumske mete za različite namjene imaju različite zahtjeve za čistoćom. Ciljni materijal se koristi kao katodni izvor u raspršivanju, a elementi nečistoće i porozni uključci u materijalu su glavni izvori zagađenja nanesenog filma. Inkluzije poroznosti će u osnovi biti uklonjene tokom ispitivanja ingota bez razaranja, a inkluzije poroznosti koje nisu uklonjene će izazvati pražnjenje tokom procesa raspršivanja, čime će uticati na kvalitet filma; sadržaj elemenata nečistoće može se odraziti samo u rezultatima ispitivanja pune analize elemenata, što je manji ukupni sadržaj nečistoća, to je veća čistoća titanijumske mete.

--Gustoća

Gustina je također važan faktor u mjerenju kvaliteta titanijumskih meta. Kako bi se smanjila poroznost u ciljnoj čvrstoj tvari i poboljšale performanse raspršenog filma, obično se traži da meta ima veću gustoću.

Gustoća mete utječe ne samo na brzinu raspršivanja, već i na električna i optička svojstva filma. Što je veća ciljna gustina, to su bolje performanse filma. Dodatno, povećanje gustine i snage mete omogućava cilju da bolje izdrži termički stres tokom raspršivanja. Gustina je također jedan od ključnih indikatora učinka cilja.

--Veličina čestica i njihova distribucija

Obično su mete za raspršivanje polikristalne strukture veličine zrna od nekoliko mikrometara do nekoliko milimetara. Za istu metu, što je manja veličina čestice mete, veća je brzina raspršivanja mete; osim toga, meta sa manjom razlikom u veličini čestica može raspršiti film ujednačenije debljine. Studija je otkrila da ako se veličina zrna titanijumske mete kontrolira ispod 100 μm, a varijacija veličine zrna se drži unutar 20%, kvaliteta raspršenog filma može se znatno poboljšati.

--kristalografska orijentacija

Titanijum ima zbijenu heksagonalnu strukturu. Budući da se atomi titanijumske mete lako raspršuju duž heksagonalnog zbijenog smjera atoma tokom raspršivanja, kako bi se postigla veća brzina raspršivanja, kristalna struktura mete može se promijeniti promjenom metode. za povećanje brzine prskanja. Kristalografski smjer titanijumske mete također ima veliki utjecaj na ujednačenost debljine raspršenog filma.

--Ujednačenost strukture

Ujednačenost strukture je takođe jedan od važnih indikatora za ispitivanje kvaliteta cilja. Za mete od titanijuma, potrebna je ne samo ravan raspršivanja mete, već i sastav normalnog pravca, orijentacija zrna i ujednačenost prosečne veličine zrna u ravni raspršivanja. Samo na ovaj način, titanijumska meta može da dobije titanijumski film ujednačene debljine, pouzdanog kvaliteta i konzistentne veličine zrna u isto vreme tokom svog radnog veka.

Slučaj specifikacije

Brzina rotacije: Meta bi trebala biti sposobna da se okreće brzinom do nekoliko hiljada okretaja u minuti kako bi se postigla ujednačenija stopa taloženja i produžio vijek trajanja mete.

Hlađenje: Cilj od titanijumske cijevi treba biti hlađen vodom kako bi se raspršila toplina stvorena tokom procesa taloženja i spriječilo oštećenje mete.
Podloga: Titanijumska pozadinska ploča se obično koristi za podupiranje rotirajuće mete cilindra i obezbjeđivanje električnog kontakta.
Metoda vezivanja: Cilj se obično vezuje za podložnu ploču pomoću difuzionog vezivanja ili drugih metoda vezivanja visoke čvrstoće kako bi se osigurala dobra toplotna i električna provodljivost.
Čistoća: Titanijumske rotacione mete za magnetronsko raspršivanje treba da imaju visok nivo čistoće kako bi se minimizirale nečistoće u deponovanim filmovima i osigurale konzistentne performanse. Nivo nečistoće bi trebao biti manji od 1000 dijelova na milion (ppm) za većinu primjena.

Sve u svemu, specifikacije mete s rotirajućim cilindrom od titanijuma će varirati ovisno o specifičnim zahtjevima primjene, a meta se može prilagoditi kako bi zadovoljila te potrebe.

Popularni tagovi: Titanijumske rotacione mete za magnetronsko raspršivanje, mete od titanijumske cevi